La machine la plus onéreuse du monde

Environ 400 millions de dollars américains : voilà ce que coûte la machine la plus chère du monde. Ce monstre de la taille d’une maison pèse certes autant qu’un avion de ligne, mais il sert à créer des structures mille fois plus fines qu’un cheveu humain. À l’aide d’une lumière à ondes extrêmement courtes, la machine « dessine » sur des plaquettes de silicium des structures de commutation précises au nanomètre près, qui sont ensuite transformées en micropuces ultra-performantes.

Cee monstre est le fleuron d’ASML. Il s’agit de la dernière génération d’équipements de lithographie EUV. Elle fait de l’entreprise de Veldhoven, aux Pays-Bas, le goulot d’étranglement de la révolution de l’IA. ASML détient le monopole mondial sur les machines de lithographie dans le spectre de l’ultraviolet extrême (EUV). Personne d’autre sur la planète ne maîtrise actuellement cette technologie. Sans les machines d’ASML, Elon Musk peut enterrer ses projets de construction de la plus grande usine de puces au monde, Terafab. Il n’y a pas que Musk : Samsung, Intel, TSMC… tous dépendent de ces machines coûteuses fabriquées à Veldhoven.

La ruée vers l’or de l’Intelligence Artificielle fait actuellement affluer les recettes chez ASML. L’entreprise a réalisé un bénéfice de 10 milliards d’euros l’an dernier, pour un chiffre d’affaires de 32 milliards. Le cours de l’action a grimpé de 60% depuis le début de l’année. Avec une capitalisation boursière de plus d’un demi-billion d’euros, ASML est l’entreprise la plus valorisée d’Europe. Rien d’étonnant à cela, car les fabricants de puces font la queue à Veldhoven. Le prix n’a aucune importance. Ils veulent ces machines en bien plus grand nombre que ce qu’ASML est actuellement en mesure de livrer. Quiconque souhaite en acquérir une, doit patienter des années.

L’ascension d’ASML est le résultat d’une évolution qui a commencé bien avant la création de l’entreprise néerlandaise. Les fondements de cette technologie remontent aux années 1980. À l’époque, des chercheurs japonais étudiaient la possibilité d’utiliser la lumière ultraviolette extrême (EUV) pour la fabrication de puces. L’idée était prometteuse, mais sa mise en œuvre pratique s’avérait extrêmement difficile. Le rayonnement EUV ne peut être utilisé qu’en vide, nécessite des miroirs de haute précision et impose des exigences très élevées à l’ensemble de la technologie du système.

Le premier prototype EUV fonctionnel a vu le jour en 2000, mais il était encore loin d’atteindre la productivité nécessaire pour une utilisation industrielle. Face aux coûts élevés et aux risques techniques, de nombreuses entreprises se sont retirées du projet. ASML a quant à elle poursuivi le développement. Cette ténacité allait porter ses fruits : les Néerlandais ont mis en place un réseau de partenaires spécialisés : Carl Zeiss a développé les miroirs de haute précision, Trumpf a fourni les systèmes laser pour la génération du rayonnement EUV, tandis que d’autres fournisseurs ont apporté des composants clés. ASML s’est chargée d’intégrer ces technologies pour en faire un système global fonctionnel.

La percée décisive n’a eu lieu qu’au milieu de la dernière décennie, lorsque la source de lumière EUV a atteint une puissance suffisante pour permettre une production rentable. Les premières commandes clients ont commencé à affluer à partir de 2016. Aujourd’hui, les installations EUV sont indispensables à la fabrication de semi-conducteurs de pointe. 

ASML est à ce jour la seule entreprise capable de fournir de tels systèmes en série. Cela lui apporte des clients et des marges élevées, mais fait également de la société néerlandaise la cible de jeux de pouvoir géopolitiques. Une fois de plus, l’enjeu est la domination mondiale du numérique, et les adversaires sont les poids lourds bien connus : dans le coin bleu, les États-Unis, tenants du titre ; dans le coin rouge, la Chine, le challenger.

Depuis plusieurs années, ASML doit faire face aux conséquences de la rivalité entre Washington et Pékin. En 2022, les États-Unis ont « convaincu » le gouvernement néerlandais d’imposer des contrôles à l’exportation sur les machines d’ASML et d’en restreindre la vente à la Chine. À ce jour, ASML n’a, selon ses propres déclarations, livré aucun appareil de lithographie EUV à la Chine. Les Chinois doivent se contenter de machines fonctionnant dans le domaine de l’ultraviolet profond (Deep Ultraviolet, DUV) et qui sont donc moins performantes. En 2024, les clients chinois ont acheté environ 70% des systèmes d’immersion DUV d’ASML et ont constitué des stocks afin de se préparer aux restrictions à l’exportation renforcées que les Pays-Bas ont entre-temps également imposées aux machines DUV plus récentes.