Die teuerste Maschine der Welt

Rund 400 Millionen US-Dollar – so viel kostet die teuerste Maschine der Welt. Das hausgrosse Monstrum wiegt zwar so viel wie ein Passagierflugzeug, ist aber dazu da, Strukturen zu erzeugen, die tausendmal dünner sind als ein menschliches Haar. Mit extrem kurzwelligem Licht «zeichnet» die Maschine die nanometergenauen Schaltstrukturen auf Siliziumwafer, die danach zu hoch leistungsfähigen Mikrochips verarbeitet werden.

Die Maschine ist das beste Pferd im Stall von ASML. Es handelt sich um die neueste Generation von EUV-Lithografieanlagen. Sie macht das Unternehmen aus dem niederländischen Veldhoven zum Flaschenhals der KI-Revolution. ASML hält das weltweite Monopol auf Maschinen für die Lithografie im extremen UV-Spektrum (EUV). Niemand anders auf dem Planeten beherrscht derzeit diese Technologie. Ohne ASML-Maschinen kann Elon Musk die Pläne für die grösste Chipfabrik der Welt, Terafab, begraben. Nicht nur Musk, auch Samsung, Intel, TSMC – sie alle sind auf die teuren Maschinen aus Veldhoven angewiesen.

Der KI-Goldrausch lässt bei ASML derzeit die Kassen klingeln. 10 Milliarden Euro Gewinn hat das Unternehmen im vergangenen Jahr erwirtschaftet – bei einem Umsatz von 32 Milliarden. Der Aktienkurs stieg seit Jahresbeginn um 60 Prozent. ASML ist mit einem Börsenwert von mehr als einer halben Billion Euro das wertvollste Unternehmen Europas. Kein Wunder, denn die Chiphersteller stehen Schlange in Veldhoven. Der Preis spielt keine Rolle, sie wollen die Maschinen – und zwar weitaus mehr, als ASML derzeit liefern kann. Wer eine EUV-Maschine haben will, muss jahrelang darauf warten.

Der Aufstieg von ASML ist das Ergebnis einer Entwicklung, die weit vor der Gründung des niederländischen Unternehmens begann. Die Grundlagen der Technologie reichen in die 1980er-Jahre zurück. Damals untersuchten Forscher in Japan die Möglichkeit, extrem ultraviolettes Licht (EUV) für die Chipherstellung einzusetzen. Die Idee war vielversprechend, die praktische Umsetzung jedoch ausserordentlich schwierig. EUV-Strahlung lässt sich nur im Vakuum nutzen, benötigt hochpräzise Spiegel und stellt höchste Anforderungen an die gesamte Systemtechnik.

Der erste funktionsfähige EUV-Prototyp entstand im Jahr 2000, war für den industriellen Einsatz jedoch noch weit von der nötigen Produktivität entfernt. Angesichts hoher Kosten und technischer Risiken stiegen viele Unternehmen aus. ASML hielt dagegen an der Entwicklung fest. Diese Hartnäckigkeit sollte sich auszahlen: Die Niederländer bauten ein Netzwerk spezialisierter Partner auf: Carl Zeiss entwickelte die hochpräzisen Spiegel, Trumpf lieferte die Lasersysteme zur Erzeugung der EUV-Strahlung, weitere Zulieferer steuerten Schlüsselkomponenten bei. ASML übernahm die Integration dieser Technologien zu einem funktionierenden Gesamtsystem.

Der entscheidende Durchbruch gelang erst zur Mitte des vergangenen Jahrzehnts, als die EUV-Lichtquelle ausreichend Leistung für eine wirtschaftliche Produktion erreichte. Ab 2016 gingen die ersten Kundenaufträge ein. Heute sind EUV-Anlagen unverzichtbar für die Herstellung modernster Halbleiter. 

ASML ist bislang das einzige Unternehmen, das solche Systeme in Serie liefern kann. Das bringt Kunden und hohe Margen, macht die niederländische Firma aber auch zum Objekt geopolitischer Machtspiele. Einmal mehr geht es um die digitale Weltherrschaft, die Gegner sind die bekannten Schwergewichte: in der blauen Ecke der Titelverteidiger USA, in der roten Ecke der Herausforderer China.

ASML hat seit mehreren Jahren mit den Folgen der Rivalität zwischen Washington und Peking zu kämpfen. Im Jahr 2022 «überzeugten» die USA die niederländische Regierung, Exportkontrollen für die Maschinen von ASML zu verhängen und deren Verkauf an China einzuschränken. Bis heute hat ASML nach eigenen Angaben keine EUV-Lithografiegeräte nach China geliefert. Die Chinesen müssen sich mit Maschinen begnügen, die im Tief-Ultraviolettbereich (Deep Ultraviolet, DUV) arbeiten und deshalb weniger leistungsfähig sind. Chinesische Kunden kauften im Jahr 2024 schätzungsweise 70 Prozent der DUV-Immersionssysteme von ASML und legten Vorräte an, um sich auf die verschärften Exportbeschränkungen vorzubereiten, die die Niederlande inzwischen auch für neuere DUV-Maschinen verhängt haben.